图6是精密工作台以速度120mm/s、加速度1g、运动距离240mm,在减速到停止过程中,两种控制方式在运动终点的轨迹跟踪误差曲线。采用PID+AF控制方式时,运动结束有振荡,振荡幅值±2.5μm,工作台定位建立时间为25ms,采用本文设计的PID控制器,运动结束没有振荡,工作台定位建立时间为15ms。

　　由图5、图6可以看出,采用本文方法设计的PID控制器,精密工作台的定位精度、轨迹跟踪精度和定位建立时间都得到了提高。

　　4 结 论

　　仿真和实验表明,采用本文提出的基于振动模型的PID控制器设计方法,不但可以显著提高精密工作台定位精度、轨迹跟踪精度和定位建立时间,而且具有结构简单,计算量小的优点。论文成果已经在IC装备基础研究中得到应用,有较好的工程应用价值。

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